MEMS硅传声器的研发

技术需求名称

MEMS硅传声器的研发

技术领域

电子信息

名称关键词

MEMS，硅传声器，研发

所需求技术描述（含主要内容和关键技术）

   基于MEMS技术的硅微传声器具有优良的物理性能和电声性能，使目前使用的其它各类传声器都相形见绌。其在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事、通信等几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。沿着系统及产品小型化、智能化、集成化的发展方向，可以预见，MEMS微传声器正发展成为一个巨大的产业。目前国内驻极体传声器的年生产量达20亿只，预计硅微传声器10年内将全面替代驻极体传声器。但目前硅微传声器只有美国楼氏公司在大量生产，年产量约1亿只左右，处于垄断地位且供不应求。国内企业均处于研制之中，未能大量上市。

合作方式

面议

技术需求难题

MEMS硅传声器的研发

技术领域

电子信息

名称关键词

MEMS，硅传声器，研发

技术难题描述（含主要内容和所要解决的关键技术）

    1、与半导体企业协作，解决传声器膜片的劲度问题，使传声器的频响和频带满足不同使用条件的要求。
    2、集成封装设备的调试使用及使用人员的培训。
    3、传声器晶片、传声器成品的测试及产品可靠性提高的问题。
    4、硅微传声器封装中微传声进声孔尺寸的保障及进声孔与晶片的同心问题尤为重要，进声孔堵塞、偏移或孔径变化均会对传声器的声性能带来很大影响，如何在工艺上保证进声孔的尺寸及一致性，是我们要重点解决的问题。

拟提供资金（万元）

300万元

后续合作方式

许可转让